Field Emission Scanning Electron Microscope (FESEM)
(Merlin compact, Zeiss, EDX (Oxford, Aztec), EBSD (Oxford, Nordlys Max))
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดที่มีสมรรถนะสูง ชนิดฟิลด์อิมิสชันที่สามารถใช้ในการตรวจวิเคราะห์โครงสร้าง และพื้นผิวตัวอย่างทางด้านวัสดุศาสตร์ได้ถึงระดับนาโน ประกอบด้วย เครื่องตรวจวิเคราะห์ธาตุด้วยรังสีเอ็กซ์จากตัวอย่าง และชุดวิเคราะห์การจัดเรียงผลึกของธาตุจากการกระเจิงของอิเล็กตรอนสะท้อนกลับ
สมรรถนะหลักของเครื่อง
1. Resolution ของภาพจาก secondary electron 0.8 nm @ 15 kV, 1.5 nm @ 1 kV
2. ขยายภาพได้ในช่วง 12-2,000,000 เท่า
3. เลือกใช้ได้ทั้ง Secondary Electron Image (SEI) และ Backscattered Electron Image (BEI)
4. ปรับเลือกค่า accelerating voltage ได้ตั้งแต่ 0.02-30 kV
5. ปรับเลือกค่า probe current ได้ในช่วง 5 pA ถึง 20 nA
ระบบอิเล็กตรอนออพติก
1. ชนิด Schottky field emission gun
2. Condenser lens เป็นชนิด Electromagnetic lens
3. มีระบบ focus compensation ที่รักษาระดับโฟกัสไว้ได้แม้มีการเปลี่ยนแปลงของ accelerating voltage
4. มีระบบ beam booster ที่สามารถชะลอลำอิเล็กตรอนให้กระทบผิวชิ้นงานให้ได้ภาพที่มีคุณภาพสูง
แท่นวางตัวอย่าง และ ห้องตัวอย่าง
1. Eucentric stage หมุนได้ 5 แกน X,Y, Z, เอียง และ หมุน 360
2. รองรับขนาดตัวอย่างได้ถึง 330 x 330 x 270 mm น้ำหนักไม่เกิน 0.5 kg
ตัวตรวจวัด (Detector)
1. in-lens Duo detector: in-lens secondary electron (SE) และ energy selective backscattered detection (EsB)
2. เครื่องตรวจวิเคราะห์ธาตุด้วยรังสีเอ็กซ์ (EDX) ยี่ห้อ Oxford รุ่น Aztec
- พื้นที่รับพลังงาน 50 mm2
- ความละเอียดในการแยกแยะไม่เกิน 127 eV เมื่อวัดด้วย MnKα
- อัตราการตรวจจับสัญญาณ 50,000 นับต่อวินาที (cps)
3. ชุดวิเคราะห์การจัดเรียงผลึกของธาตุจากการกระเจิงของอิเล็กตรอนสะท้อนกลับ (EBSD) ยี่ห้อ Oxford รุ่น Nordlys Max